干式真空泵的應用范圍
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發布日期：2017-05-17
現在干式真空泵越來越受到人們的歡迎，應用范圍也越來越廣，具體都應用在哪些領域呢？下面的文章為大家介紹一下。
1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而微粒排出泵外，則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求；
4、在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等；
5、用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
